Das erste geothermische Kraftwerk wurde 1904 von Prinz Piero Ginori Conti erfunden. Dieses System nutzte Dampf zur Stromerzeugung.
Erst 1922 wurde in den USA die erste Geothermieanlage mit einer Leistung von 250 Kilowatt gebaut. Seine Ausgabe war gering und wurde später wegen technischer Probleme geschlossen. Später im Jahr 1946 wurde im Commonwealth Building in Oregon eine Erdwärmepumpe gebaut. Die erste große Geothermieanlage mit einer Leistung von 11 Megawatt wurde in den 1960er Jahren in San Francisco gebaut. Geothermische Wärmepumpen gewannen in den 1980er Jahren nach der Ölkrise 1973 an Popularität. Seitdem hat sich die Geothermie mit dem zunehmenden Bedarf weiterentwickelt, Kühl- und Heizkosten zu senken.
