Frederick Guthrie erfand die Diode 1873, setzte sie jedoch nicht in die Praxis um. Thomas Edison entwickelte sie 1880 unabhängig und verwendete sie dann in seinem Patent der Glühbirne von 1883. John Ambrose Fleming erhielt 1904 das erste Patent auf die Diode selbst.
Alle diese frühen Dioden waren Vakuumröhrendioden. Die Vakuumröhrendiode war bis in die 1950er Jahre die gebräuchlichste Form, als Halbleiterdioden sie verdrängten. Halbleiterdioden wurden kurz nach Vakuumröhrendioden erfunden, waren aber bis Mitte des 20. Jahrhunderts nicht stabil genug für den praktischen Einsatz. Karl Ferdinand Braun erfand 1874 die erste Halbleiterdiode und ließ sie 1899 patentieren.
