Chemicool gibt an, dass Silizium 1831 vom schottischen Chemiker Thomas Thomson benannt wurde. Der schwedische Chemiker Jöns Jakob Berzelius stellte eine Probe von amorphem Silizium her und reinigte die Substanz unter dem Namen Silizium von "Silicis", das bedeutet "Feuerstein". Als Thomson Silizium nannte, behielt er einen Teil des Namens von Berzelius bei.
Thomson fügte das "-o" am Ende des Elements wegen seiner Ähnlichkeit mit Nichtmetallen wie Kohlenstoff und Bor hinzu. Laut Chemicool war Feuerstein oder Silicus wahrscheinlich die erste Verwendung des Elements Siliziumdioxid. Henri Deville stellte 1854 sogenanntes kristallines Silizium her. Dies gelang ihm, indem er unreine Schmelzteile von Natriumchlorid elektrolysierte, um Aluminiumsilicid herzustellen.